大腔体等离子清洗机TergeoPRO可处理8英寸及以下基片

Tergeo Pro大尺寸台式等离子清洗机

Tergeo-Pro 等离子系统将腔室直径增加到 9 英寸（230 毫米）。腔室的深度增加到 13.4 英寸（430 毫米）。Tergeo-Pro 等离子系统足够大，可以容纳 8 英寸晶圆，容纳一两个 25/50 槽 6" 或 4" 石英晶舟。Tergeo-Pro 等离子系统可以具有 150 瓦、300 瓦或 500 瓦的射频功率。射频功率可以 1 瓦的间隔进行调整。射频电源的频率为 13.56MHz，提供比 KHz 射频等离子系统更高的等离子生成效率。Tergeo 等离子系统不仅可以调整射频功率，还可以产生连续或脉冲等离子。脉冲比可以从 *** 调整到小于 1%。夸脱室壁结构可实现外部电容耦合射频电极设计。

以下是典型应用案例：

光刻胶灰化、除渣和硅片清洗；

在引线键合、倒装芯片底部填充、PCB去污之前清洁芯片；

生物医用涂层前表面处理，提高医用植入物的亲水性；

环氧树脂粘合前的光学元件、玻璃、光纤头和基板清洁；

PDMS、微流体、载玻片和芯片实验室；

改善金属与金属或复合材料的粘合；

改善塑料、聚合物和复合材料的粘合；

Tergeo Pro等离子清洗机的产品特点：

1.大型样品室

***针对大尺寸基片而研发设计，腔室足够大，可容纳8英寸晶圆，一个或两个 25片/50片 6"/4"晶圆 的石英舟。

2.等离子传感器

可实时监测等离子状态，并为用户提供不同配方条件下等离子强度的定量反馈，实时显示在液晶触摸屏显示器上。等离子传感器还可以监测等离子灰化过程的进程并用作终点指示器。

3.连续或脉冲等离子

脉冲比可以从*** 调整到小于1%。改变等离子体强度超过几个数量级。

4.***的过程控制功能

压力传感器、温度传感器、MFC中的气体流量计、等离子强度传感器、自动阻抗匹配。

Tergeo Pro等离子清洗机的技术参数：